自新冠肺炎疫情爆发之后，，深紫外UVC杀菌消毒市场需求大爆发，，，AlGaN（铝氮化镓）基UVC LED在医疗设备、
、白色家电、、、工业水处理设备、、、
、污水处理设施、、食品加工与包装、、、生化探测等领域应用潜力巨大。。当前，，在低成本的衬底上生长高质量AIN薄膜是实现高效的AlGaN基UVC LED商用化过程中亟待解决的技术难题。。。由于AlN单晶生长极其困难，，，
，目前供应量非常有限
，，，且成本高昂，，，，绝大多数UVC LED厂家是采用MOCVD工艺在蓝宝石衬底上生长AlN薄膜
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凯星聚焦关键核心技术
，，，抢占科技创新制高点，
，经过大半年时间的技术攻关，，，在蓝宝石基氮化铝薄膜衬底材料制备中取得重大突破，，，
，不仅实现了产品质量的有效管控，，，大幅度提升产品品质，，确保产品稳定性，，还大大降低了产品成本和生产周期。。

凯星生产的AlN On Sapphire（蓝宝石基氮化铝），
，HRXRD<0.05°
，，，Rq<1.2nm，
，，该技术水平已达国际领先
，，，，目前在与UVC LED企业协同下
，，积极推进和探索终端应用以及合作模式。。。。

经客户验证表明，，，，凯星的高品质AlN On Sapphire能够大幅提升UVC LED产品良率和稳定性，
，，助力产品性能提升。。目前凯星AlN On Sapphire已处于小批量供货阶段，，，，为了积极响应急剧爆发的市场需求
，，，，正在加速建设中试生产线
，，，该产线完工后预计年产将达2万片，，届时将极大满足UVC LED对高品质AlN On Sapphire的大量需求。
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AlN On Sapphire表征检测

AlN On Sapphire产品参数